tube à décharge gazeuse
- Domaine
-
- électroniquetube électronique
- Date
Définition :
Tube électronique du type diode, contenant un gaz sous faible pression et que l'on utilise pour mettre en œuvre la pulvérisation cathodique. La cathode est faite du métal à déposer, et le substrat semiconducteur à la surface duquel on veut réaliser le dépôt d'une couche mince selon un tracé donné joue le rôle d'anode.
Terme :
- tube à décharge gazeuse n. m.
Termes associés :
- tube à décharge dans les gaz n. m.
- tube à décharge n. m.
Traductions
-
anglais
Date :Termes :
- gas discharge tube
- gas-discharge tube
Terme associé :
- discharge tube