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lithographie par faisceau d'électrons

Domaines
  1. nanotechnologie
  2. électronique
Auteur
Office québécois de la langue française
Dernière mise à jour
2005
  • Accéder à la fiche en anglais : electron beam lithography
  • Accéder à la fiche en catalan : litografia per feix d'electrons
  • Accéder à la fiche en espagnol : litografía por haz de electrones
  • Accéder à la fiche en italien : litografia a fascio di elettroni
  • Accéder à la fiche en portugais : litografia por feixe de elétrons
  • Accéder à la fiche en roumain : litografie cu fascicul de electroni

Définition :

Technique de lithographie qui consiste à reproduire le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impression.

Notes :

La technique la plus répandue consiste à utiliser un faisceau d'électrons pour réaliser un motif directement dans la résine, sans l'aide d'un masque.

Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.

Termes privilégiés :

lithographie par faisceau d'électrons n. f.
LFE n. f.
lithographie par faisceau électronique n. f.
LFE n. f.
lithographie à faisceau d'électrons n. f.
LFE n. f.
lithographie à faisceau électronique n. f.
LFE n. f.
lithographie électronique n. f.

Dans tous ces termes, faisceau peut s'écrire au pluriel : lithographie par faisceaux d'électrons, lithographie par faisceaux électroniques, lithographie à faisceaux d'électrons et lithographie à faisceaux électroniques.

Traductions

  • anglais

    Auteur : Office québécois de la langue française, 2005

    Termes :

    1. electron beam lithography
    2. EBL
    3. e-beam lithography
  • catalan

    Auteur : Centre de terminologia Termcat, 2008

    Définition

    Conjunt de tècniques de litografia que permeten reproduir, en una resina dipositada a la superfície d'un material, el motiu d'una estructura micromètrica o nanomètrica utilitzant un feix d'electrons com a mitjà d'impressió.

    Termes :

    1. litografia per feix d'electrons n. f.
    2. litografia electrònica n. f.
  • espagnol

    Auteurs : Grupo Argentino de Terminología, 2007
    Universidad Pontificia Comillas, 2007

    Définition

    Conjunto de técnicas de litografía que utilizan un haz de electrones para imprimir el patrón de una estructura micrométrica o nanométrica en una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.

    Termes :

    1. litografía por haz de electrones s. f.
    2. litografía electrónica s. f.
    3. litografía de electrones s. f. Argentine
    4. litografía de haz electrónico s. f. Espagne
    5. EBL s. f.
  • italien

    Auteur : Università di Bologna, 2008

    Définition

    Questa tecnica litografica può essere implementata con varie modalità di scansione del wafer; una delle tecniche è definita a pettine e consiste nella deflessione del fascio un una sola direzione mentre il wafer viene mosso meccanicamente nella direzione perpendicolare all'altra.

    Termes :

    1. litografia a fascio di elettroni s. f.
    2. electron beam lithography s. f. inv.
    3. litografia EBL s. f.
  • portugais

    Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional, 2009
    Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, 2009

    Termes :

    1. litografia por feixe de elétrons s. f. Brésil
    2. LFE s. f. Portugal
    3. litografia por feixes de electrões s. f. Portugal
    4. litografia electrónica s. f. Portugal
    5. litografia eletrônica s. f. Brésil
  • roumain

    Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”, 2007

    Terme :

    1. litografie cu fascicul de electroni s. f.

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