lithographie par faisceau d'électrons
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Définition :
Technique de lithographie qui consiste à reproduire le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impression.
Notes :
La technique la plus répandue consiste à utiliser un faisceau d'électrons pour réaliser un motif directement dans la résine, sans l'aide d'un masque.
Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.
Termes privilégiés :
- lithographie par faisceau d'électrons n. f.
- LFE n. f.
- lithographie par faisceau électronique n. f.
- LFE n. f.
- lithographie à faisceau d'électrons n. f.
- LFE n. f.
- lithographie à faisceau électronique n. f.
- LFE n. f.
- lithographie électronique n. f.
-
Dans tous ces termes, faisceau peut s'écrire au pluriel : lithographie par faisceaux d'électrons, lithographie par faisceaux électroniques, lithographie à faisceaux d'électrons et lithographie à faisceaux électroniques.
Traductions
-
anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- electron beam lithography
- EBL
- e-beam lithography
-
catalan
Auteur : Centre de terminologia Termcat,Définition
Conjunt de tècniques de litografia que permeten reproduir, en una resina dipositada a la superfície d'un material, el motiu d'una estructura micromètrica o nanomètrica utilitzant un feix d'electrons com a mitjà d'impressió.
Termes :
- litografia per feix d'electrons n. f.
- litografia electrònica n. f.
-
espagnol
Auteurs : Grupo Argentino de Terminología,
Universidad Pontificia Comillas,Définition
Conjunto de técnicas de litografía que utilizan un haz de electrones para imprimir el patrón de una estructura micrométrica o nanométrica en una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.
Termes :
-
italien
Auteur : Università di Bologna,Définition
Questa tecnica litografica può essere implementata con varie modalità di scansione del wafer; una delle tecniche è definita a pettine e consiste nella deflessione del fascio un una sola direzione mentre il wafer viene mosso meccanicamente nella direzione perpendicolare all'altra.
Termes :
- litografia a fascio di elettroni s. f.
- electron beam lithography s. f. inv.
- litografia EBL s. f.
-
portugais
Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional,
Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, -
roumain
Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”,Terme :
- litografie cu fascicul de electroni s. f.