lithographie par faisceau d'ions focalisé
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Définition :
Technique de lithographie qui consiste à reproduire le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible, sans l'aide d'un masque, au moyen d'un faisceau d'ions généralement dirigé par un système de lentilles électrostatiques.
Note :
Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.
Termes privilégiés :
- lithographie par faisceau d'ions focalisé n. f.
- lithographie par faisceau d'ions focalisés n. f.
- lithographie par faisceau ionique focalisé n. f.
- lithographie à faisceau d'ions focalisé n. f.
- lithographie à faisceau d'ions focalisés n. f.
- lithographie à faisceau ionique focalisé n. f.
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Dans tous ces termes, faisceau peut s'écrire au pluriel : lithographie par faisceaux d'ions focalisés, lithographie par faisceaux ioniques focalisés, lithographie à faisceaux d'ions focalisés ou lithographie à faisceaux ioniques focalisés.
Traductions
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anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- focused ion beam lithography
- FIBL
- FIB lithography
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catalan
Auteur : Centre de terminologia Termcat,Définition
Tècnica de litografia que permet reproduir el motiu d'una estructura micromètrica o nanomètrica directament en una resina sensible, sense l'ajut d'un màscara i mitjançant un feix d'ions generalment dirigits per un sistema de lents electrostàtiques.
Terme :
- litografia per feix d'ions focalitzat n. f.
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espagnol
Auteurs : Grupo Argentino de Terminología,
Universidad Pontificia Comillas,Définition
Técnica de litografía que consiste en reproducir mediante un haz de iones acelerados y sin utilizar máscara, el motivo de una estructura micrométrica o nanométrica en la superficie de una resina fotosensible depositada sobre el material a estructurar.
Termes :
-
italien
Auteur : Università di Bologna,Définition
Litografia che utilizza un fascio di ioni focalizzato per impressionare il resist, questa tecnica offre la possibilità di drogare aree del dispositivo senza l'utilizzo di maschere o resist.
Terme :
- litografia a fascio ionico focalizzato s. f.
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portugais
Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional,
Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, -
roumain
Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”,Terme :
- litografie cu fascicul de ioni focalizaţi s. f.