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lithographie par projection de faisceau d'électrons

Domaines
  1. nanotechnologie
  2. électronique
Auteur
Office québécois de la langue française
Dernière mise à jour
2005
  • Accéder à la fiche en anglais : electron beam projection lithography
  • Accéder à la fiche en catalan : litografia per projecció de feix d'electrons
  • Accéder à la fiche en espagnol : litografía de proyección electrónica
  • Accéder à la fiche en italien : litografia EPL
  • Accéder à la fiche en portugais : litografia por feixe de elétrons
  • Accéder à la fiche en roumain : litografie prin proiecţie cu fascicul de electroni

Définition :

Technique de lithographie dans laquelle un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible dans laquelle le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique doit être reproduit.

Note :

Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.

Termes privilégiés :

lithographie par projection de faisceau d'électrons n. f.
lithographie par projection de faisceau électronique n. f.
lithographie par projection électronique n. f.
lithographie électronique par projection n. f.
lithographie électronique de projection n. f.

Dans lithographie par projection de faisceau d'électrons et lithographie par projection de faisceau électroniques, faisceau peut s'écrire au pluriel.

Traductions

  • anglais

    Auteur : Office québécois de la langue française, 2005

    Termes :

    1. electron beam projection lithography
    2. electron projection lithography
    3. EPL
    4. projection electron lithography
  • catalan

    Auteur : Centre de terminologia Termcat, 2008

    Définition

    Tècnica de litografia en què un feix d'electrons, generalment dirigit per un sistema de lents electromagnètiques, és projectat, a través d'una màscara que conté el patró d'una estructura micromètrica o nanomètrica, en direcció a la resina sensible en què cal reproduir el motiu.

    Termes :

    1. litografia per projecció de feix d'electrons
    2. litografia electrònica per projecció n. f.
    3. litografia per projecció electrònica n. f.
  • espagnol

    Auteurs : Grupo Argentino de Terminología, 2007
    Universidad Pontificia Comillas, 2007

    Définition

    Técnica de litografía que consiste en dirigir mediante lentes electrostáticas, un haz de electrones a través de una máscara tipo esténcil para recrear el motivo de una estructura micrométrica o nanométrica en la superficie de una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.

    Termes :

    1. litografía de proyección electrónica s. f. Argentine
    2. litografía de cañón de electrones s. f. Espagne
    3. litografía por bombardeo electrónico s. f. Espagne
  • italien

    Auteur : Università di Bologna, 2008

    Définition

    Procedimento della litografia che impiega fasci di elettroni per l’illuminazione.

    Termes :

    1. litografia EPL s. f.
    2. electron projection lithography s. m. inv.
  • portugais

    Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional, 2009
    Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, 2009

    Termes :

    1. litografia por feixe de elétrons s. f. Brésil
    2. litografia por feixes de electrões s. f. Portugal
    3. litografia electrónica s. f. Portugal
    4. litografia eletrônica s. f. Brésil
  • roumain

    Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”, 2007

    Terme :

    1. litografie prin proiecţie cu fascicul de electroni s. f.

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