lithographie par projection de faisceau d'électrons
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Définition :
Technique de lithographie dans laquelle un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible dans laquelle le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique doit être reproduit.
Note :
Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.
Termes privilégiés :
- lithographie par projection de faisceau d'électrons n. f.
- lithographie par projection de faisceau électronique n. f.
- lithographie par projection électronique n. f.
- lithographie électronique par projection n. f.
- lithographie électronique de projection n. f.
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Dans lithographie par projection de faisceau d'électrons et lithographie par projection de faisceau électroniques, faisceau peut s'écrire au pluriel.
Traductions
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anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- electron beam projection lithography
- electron projection lithography
- EPL
- projection electron lithography
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catalan
Auteur : Centre de terminologia Termcat,Définition
Tècnica de litografia en què un feix d'electrons, generalment dirigit per un sistema de lents electromagnètiques, és projectat, a través d'una màscara que conté el patró d'una estructura micromètrica o nanomètrica, en direcció a la resina sensible en què cal reproduir el motiu.
Termes :
- litografia per projecció de feix d'electrons
- litografia electrònica per projecció n. f.
- litografia per projecció electrònica n. f.
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espagnol
Auteurs : Grupo Argentino de Terminología,
Universidad Pontificia Comillas,Définition
Técnica de litografía que consiste en dirigir mediante lentes electrostáticas, un haz de electrones a través de una máscara tipo esténcil para recrear el motivo de una estructura micrométrica o nanométrica en la superficie de una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.
Termes :
-
italien
Auteur : Università di Bologna,Définition
Procedimento della litografia che impiega fasci di elettroni per l’illuminazione.
Termes :
- litografia EPL s. f.
- electron projection lithography s. m. inv.
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portugais
Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional,
Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, -
roumain
Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”,Terme :
- litografie prin proiecţie cu fascicul de electroni s. f.