lithographie par projection d'ions
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Définition :
Technique de lithographie dans laquelle un faisceau d'ions, généralement dirigé par un système de lentilles électrostatiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible dans laquelle le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique doit être reproduit.
Note :
Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.
Termes privilégiés :
- lithographie par projection d'ions n. f.
- lithographie par projection ionique n. f.
- lithographie ionique par projection n. f.
- lithographie ionique de projection n. f.
Traductions
-
anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- ion beam projection lithography
- ion projection lithography
- IPL
- projection ion lithography
-
catalan
Auteur : Centre de terminologia Termcat,Définition
Tècnica de litografia en què un feix d'ions, generalment dirigit per un sistema de lents electrostàtiques, és projectat, a través d'una màscara que conté el patró d'una estructura micromètrica o nanomètrica, en direcció a la resina sensible en què cal reproduir el motiu.
Termes :
- litografia per projecció d'ions
- litografia iònica per projecció n. f.
- litografia per projecció iònica n. f.
-
espagnol
Auteurs : Grupo Argentino de Terminología,
Universidad Pontificia Comillas,Définition
Técnica de litografía que consiste en dirigir mediante lentes electrostáticas, un haz de iones a través de una máscara tipo esténcil para recrear el motivo de una estructura micrométrica o nanométrica sobre la superficie de una resina fotosensible depositada sobre el material a estructurar.
Termes :
-
italien
Auteur : Università di Bologna,Définition
Litografia a fasci di ioni è identica alla litografia a raggi elettronici, con il vantaggio però che gli ioni sono più pesanti degli elettroni e quindi non hanno l’effetto prossimità.
Termes :
- litografia a fascio ionico s. f.
- litografia da fascio ionico s. f.
- litografia a fasci di ioni s. f.
-
portugais
Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional,
Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, -
roumain
Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”,Terme :
- litografie prin proiecţie ionică s. f.