lithographie par ultraviolets extrêmes
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Définition :
Technique de lithographie dans laquelle on utilise des rayons électromagnétiques, d'une longueur d'onde pouvant varier entre 10 et 14 nanomètres, pour reproduire le motif d'une structure nanométrique dans une résine sensible, vers laquelle ils sont dirigés à travers un masque par un système de miroirs.
Note :
Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.
Termes privilégiés :
- lithographie par ultraviolets extrêmes n. f.
- lithographie aux ultraviolets extrêmes n. f.
- lithographie ultraviolet extrême n. f.
- lithographie UV extrême n. f.
- lithographie EUV n. f.
- lithographie par rayons X mous n. f.
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Plusieurs auteurs emploient également le terme lithographie par rayons X mous pour désigner cette technique nouvelle parce que, sur l'échelle des ondes électromagnétiques, la limite qui sépare les rayons ultraviolets extrêmes des rayons X mous est approximative, et que la longueur d'onde utilisée pour ce type de nanolithographie se situe tout près de cette limite.
Traductions
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anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- extreme ultraviolet lithography
- extreme UV lithography
- EUV lithography
- soft X-ray lithography
Plusieurs auteurs emploient également le terme soft X-ray lithography pour désigner cette technique nouvelle parce que, sur l'échelle des ondes électromagnétiques, la limite qui sépare les rayons ultraviolets extrêmes des rayons X mous est approximative, et que la longueur d'onde utilisée pour ce type de nanolithographie se situe tout près de cette limite.
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catalan
Auteur : Centre de terminologia Termcat,Définition
Tècnica de litografia en què s'utilitzen raigs electromagnètics, d'una longitud d'ona que pot variar entre 10 i 14 nanòmetres, per a reproduir el motiu d'una estructura nanomètrica en una resina sensible, vers la qual són dirigits a través d'una màscara per un sistema de miralls.
Terme :
- litografia per raigs ultraviolats extrems n. f.
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espagnol
Auteurs : Grupo Argentino de Terminología,
Universidad Pontificia Comillas,Définition
Técnica de fotolitografía que consiste en utilizar haces de luz ultravioleta con longitud de onda muy corta dirigidos por un sistema de espejos para proyectar a través de una máscara de tipo esténcil, el motivo de una estructura nanométrica en resina fotosensible depositada sobre el material a estructurar.
Termes :
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italien
Auteur : Università di Bologna,Définition
Procedimento della fotolitografia che impiega luce ultravioletta a onde cortissime, tra gli 11 e i 14 nanometri.
Termes :
- litografia a ultravioletti estremi s. f.
- litografia EUV s. f.
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portugais
Auteurs : Instituto de Linguística Teórica e Computacional,
Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, -
roumain
Auteur : Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”,Termes :
- litografie soft X-ray s. f.
- litografie UV extreme s. f.
- litografie cu ultraviolete extreme s. f.
Litografie cu ultraviolete extreme : termen propus.