dépôt chimique catalytique en phase vapeur
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Définitions :
Technique de dépôt chimique en phase vapeur dans laquelle on utilise des particules catalytiques métalliques solides pour accélérer la décomposition des gaz desquels sont issues les molécules qui vont se déposer sur une surface.
Note :
La technique du dépôt chimique catalytique en phase vapeur est utilisée pour la fabrication de nanotubes de carbone.
Termes privilégiés :
- dépôt chimique catalytique en phase vapeur n. m.
- dépôt catalytique en phase vapeur n. m.
Traductions
-
anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- catalytic chemical vapor deposition
- CATCVD
- CCVD
- catalytic CVD