four à oxydation
- Domaine
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- électroniquetechnologie de la fabrication des circuits intégrés
- Dernière mise à jour
Définition :
Four utilisé pour l'oxydation des substrats semiconducteurs dans le but de passiver.
Terme privilégié :
- four à oxydation n. m.
Traductions
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anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- oxidation furnace
- oxydation furnace