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pulvérisation

Domaine
  1. électroniquefabrication des microcircuits
Auteur
Office québécois de la langue française
Dernière mise à jour
1986
  • Accéder à la fiche en anglais : sputtering

Définition :

Technique de dépôt utilisant l'énergie des atomes d'un gaz ionisé pour déloger les atomes d'une cible qui vont ensuite se condenser sur le substrat pour former une couche mince.

Note :

Pulvérisation, érosion (d'un matériau par bombardement ionique).

Terme privilégié :

pulvérisation n. f.

Traductions

  • anglais

    Auteur : Office québécois de la langue française, 1986

    Note :

    Process is used to deposit films for various thin-film applications.

    Terme :

    1. sputtering

    Terme associé :

    1. sputter

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