implanteur ionique
- Domaine
-
- électronique
Note :
Le niveau de complexité des implanteurs ioniques est lié à la qualité du dopage des circuits intégrés. En effet, lorsqu'il faut doper des zones très petites, avec des concentrations de dopants importantes, tous les paramètres de fonctionnement de la machine sont critiques. En particulier, il faut être certain de n'expédier sur le wafer que les ions désirés.
Terme :
- implanteur ionique n. m.
Traductions
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anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Note :
Two different types of ion implanter were considered. The first uses a mechanical system to move the slice through the ion beam which is fixed. The slices are mounted in a carousel which is rotated to provide scanning in the x direction and moved vertically during the implant to provide the y direction scan.
Terme :
- ion implanter