bec d'oiseau
- Domaine
-
- électroniquesemi-conducteur
Définition :
Défaut se produisant dans la couche d'oxyde déposée sur un substrat, causé par l'amincissement de l'oxyde et pouvant affecter les paramètres électriques d'un circuit intégré.
Terme :
- bec d'oiseau n. m.
Traductions
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anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Note :
Thinning of field oxide during contact etch can result in a nondestructive breakdown that increases leakage current. Inhibiting this thinning effect, referred to as "bird's beak", also provides significant improvement in the leakage mechanism.
Termes :
- bird's beak
- bird's beak effect