microlithographie par rayon X
- Domaine
-
- électronique
Définition :
Technique ((utilisant des rayons X)) pour le dessin des motifs de circuits intégrés.
Note :
[...] les chercheurs allemands [...] s'apprêtent à commercialiser [...] les outils nécessaires à la fabrication d'une puce, en utilisant des rayons X [...]. Ceux-ci, sont employés à la place des radiations optiques. Ils devraient permettre de diminuer la dimension de leurs structures élémentaires, qui apparaissent comme des traits tracés dans le silicium. Grâce à cette technique appelée microlithographie par rayons X, les chercheurs allemands ont déjà obtenu des transistors prototypes dont la largeur des traits atteint 0,30 microns. L'industrie européenne [...] pourrait ainsi, en matière de microlithographie X, faire jeu égal ou même prendre de vitesse ses concurrents [...].
Terme :
- microlithographie par rayon X n. f.