gravure profonde par ions réactifs
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Définitions :
Technique de gravure par ions réactifs qui permet de créer dans un échantillon de matière des trous et des sillons profonds dont la dimension verticale dépasse de beaucoup la dimension horizontale dans une proportion pouvant aller jusqu'à 30 contre 1.
Termes privilégiés :
- gravure profonde par ions réactifs n. f.
- gravure ionique réactive profonde n. f.
Traductions
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anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- deep reactive-ion etching
- DRIE