précision d'alignement
- Domaine
-
- électronique
Note :
La réalisation du circuit MOS est beaucoup plus simple que celle du bipolaire. Le coût de réalisation est donc moins cher pour une double raison : - le nombre des opérations de réalisation est limité; - les risques de précision d'alignement insuffisante des masques sont réduits en technologie MOS.
Terme :
- précision d'alignement n. f.
Traductions
-
anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Note :
Improving the lithographic and etch capabilities in semiconductor processing is the most apparent requirement in the shrinking of circuits. Enhanced resolution and more precise alignment accuracy are pushing the lithographic process to the use of direct wafer step and repeat for high performance circuit fabrication.
Termes :
- alignment accuracy
- registration accuracy
- overlay accuracy
- positional accuracy
- overlay precision